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高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)多功能镀膜设备

高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)

 

    

 

  

 

 

   

 

 

楼盘,等Helmersson固体薄膜,513,1-2,2006,1-24。

 

 

   

  

 

  
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