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先进薄膜

先进的电影架构 - 多层膜,纳米层,纳米复合材料

 

    野马真空系统(MVS)具有显着的经验,在开发和制造的产业规模PVD沉积室下一代摩擦膜系统,使厚的多层,精细的纳米层或纳米复合结构。

 

  

CSM仪器编号:N.Randall                       多诺霍等(1995)                   鲁等人(2005年)

 

    MVS已策略性地开发了一个灵活的沉积范围个别层通常为微米厚(订购)溅射多层涂层使用,HIPIMS或转向电弧蒸发技术,适用范围广,要求苛刻的应用,包括侵蚀/耐磨性和增强高速铣削过程能力切削加工。 例子包括金属/金属氮化物沉积或金属氮化物/金属氮化物和硬涂层+低摩擦面涂架构实现顺序要利用适当的沉积源切换期间适当的反应气体流量的控​​制开关来实现的架构。

 

 

    最近通过精确控制在反应溅射和蒸发沉积速率从不同的源材料,精确控制基板的旋转频率和源材料的反应行为的理解,MVS已另外开发能力,以一系列精美的共沉积,纳米分层(典型的重复周期2-10nm的)结构薄膜,在产业规模和传统工艺相比,没有生产力的损失。 量身定制,并显着提高机械(硬度,韧性等),热和摩擦学性能比传统的单片结构薄膜,这些薄膜可以表现。

 

MVS摩擦学系统也可以被配置为提供,通过以往的过渡金属基陶瓷的硬质材料,而与适当的共价键,例如Si 3 N 4或BN氮化物物种的共沉积,制造能力的纳米复合结构的硬质涂层的反应沉积。

  
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