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真空镀膜设备维修及注意事项
发布时间:2013-12-02 浏览:4546 次

    真空镀膜设备维修中应注意那些问题呢?让东莞爱加真空高级工程师与你分享.

    1. 正确安装本设备,真空室、电控柜必须安全接地。
    2. 为保证镀膜质量,要注意真空室的卫生,必须严格按技术要求执行。对室体内的零部件应用汽油、丙酮、酒精等清洗干净,擦干或烘干后方可装入。
    3. 开机前检查各真空泵的机械转动部位是否正常,如旋片泵、罗茨泵过渡传动中的密封等,必须经常检查油量和油脂,以保证其正常工作。
    4. 启动压缩机,保证空气压力在0.4Mpa才以上,经常排放压缩机储气罐中的积水。
    5. 工作完毕后,镀膜室应擦净,无污物,保持低真空,避免污染真空系统,影响真空性能。
    6. 经常检查高压微动开关,应安全可靠,如导通不良或损坏,须立即更换。
    7. 工作中如遇突然停电,应立即切断真空测量,关闭各手动阀门,将扩散泵加热炉提出,切不可断冷却水。
    8.每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。方法是:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,(注意人体皮肉不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)使镀上去的铝膜(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。
    9.当粗抽泵(2X-15A维持泵,2X-2A旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。
    10.扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴开,先用汽油将泵腔及泵芯清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察真空度是否达到6×100帕,否则要进行检漏。检查联接处是否漏装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态。

以上真空镀膜设备维修及注意事项由东莞爱加真空提供.

 

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